德(De)国(Guo)Leybold真(Zhen)空(Kong)计(Ji)

今(Jin)天(Tian)，(?)真(Zhen)空(Kong)技(Ji)术(Shu)已(Yi)经(Jing)能(Neng)获(Huo)得(De)从(Cong)1000毫(Hao)巴(Ba)带(Dai)10-13毫(Hao)巴(Ba)的(De)超(Chao)真(Zhen)空(Kong)。(?)为(Wei)保(Bao)证(Zheng)稳(Wen)定(Ding)、(?)高(Gao)质(Zhi)量(Liang)的(De)生(Sheng)产(Chan)和(He)工(Gong)艺(Yi)，(?)必(Bi)须(Xu)采(Cai)用(Yong)精(Jing)确(Que)的(De)测(Ce)量(Liang)和(He)控(Kong)制(Zhi)仪(Yi)器(Qi)来(Lai)检(Jian)测(Ce)与(Yu)调(Diao)整(Zheng)所(Suo)需(Xu)要(Yao)的(De)工(Gong)作(Zuo)压(Ya)强(Qiang)。(?)莱(Lai)宝(Bao)公(Gong)司(Si)作(Zuo)为(Wei)全(Quan)系(Xi)列(Lie)的(De)真(Zhen)空(Kong)设(She)备(Bei)供(Gong)应(Ying)商(Shang)，(?)拥(Yong)有(You)应(Ying)用(Yong)各(Ge)种(Zhong)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)的(De)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)其(Qi)测(Ce)量(Liang)范(Fan)围(Wei)从(Cong)1000毫(Hao)巴(Ba)到(Dao)10-12毫(Hao)巴(Ba)，(?)覆(Fu)盖(Gai)了(Liao)15个(Ge)数(Shu)量(Liang)级(Ji)，(?)可(Ke)以(Yi)满(Man)足(Zu)各(Ge)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)工(Gong)艺(Yi)的(De)要(Yao)求(Qiu)。(?)

德(De)国(Guo)Leybold真(Zhen)空(Kong)计(Ji)的(De)介(Jie)绍(Shao)：(?)
莱(Lai)宝(Bao)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)TTR91，(?)莱(Lai)宝(Bao)TTR91真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)TTR91莱(Lai)宝(Bao)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)管(Guan)，(?)皮(Pi)拉(La)尼(Ni)计(Ji)德(De)国(Guo)莱(Lai)宝(Bao)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)有(You)：(?)
- 用(Yong)于(Yu)测(Ce)量(Liang)粗(Cu)真(Zhen)空(Kong)的(De)各(Ge)种(Zhong)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)的(De)机(Ji)械(Xie)指(Zhi)针(Zhen)式(Shi)真(Zhen)空(Kong)表(Biao)。(?)
- 各(Ge)种(Zhong)间(Jian)接(Jie)测(Ce)量(Liang)的(De)数(Shu)显(Xian)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)，(?)它(Ta)们(Men)是(Shi)：(?)
- 热(Re)电(Dian)阻(Zu)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)(皮(Pi)拉(La)尼(Ni)规(Gui)) TTR91、(?)TTR91S、(?)TTR96、(?)TTR96S- 冷(Leng)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)(潘(Pan)宁(Ning)规(Gui)) PTR225- 薄(Bao)膜(Mo)电(Dian)容(Rong)规(Gui) CTR100、(?)CTR91- 薄(Bao)膜(Mo)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) TTR100、(?)TTR100S
- 冷(Leng)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) PTR90
- 热(Re)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) ITR90
- 便(Bian)携(Xie)式(Shi)真(Zhen)空(Kong)表(Biao)TM90、(?)TM100
- 新(Xin)型(Xing)Center和(He)Display系(Xi)列(Lie)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)
德(De)国(Guo)莱(Lai)宝(Bao)Leybold真(Zhen)空(Kong)计(Ji)TTR91SDN16KF系(Xi)列(Lie)：(?)
- 各(Ge)种(Zhong)间(Jian)接(Jie)测(Ce)量(Liang)的(De)数(Shu)显(Xian)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)，(?)它(Ta)们(Men)是(Shi)：(?)
- 热(Re)电(Dian)阻(Zu)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)(皮(Pi)拉(La)尼(Ni)规(Gui)) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S- 冷(Leng)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)规(Gui)(潘(Pan)宁(Ning)规(Gui)) PTR225- 薄(Bao)膜(Mo)电(Dian)容(Rong)规(Gui) CTR100/CTR91- 薄(Bao)膜(Mo)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) TTR100/TTR100S
- 冷(Leng)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) PTR90
- 热(Re)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)/皮(Pi)拉(La)尼(Ni)复(Fu)合(He)规(Gui) ITR90
- 便(Bian)携(Xie)式(Shi)真(Zhen)空(Kong)表(Biao)TM90/TM100

德(De)国(Guo)Leybold真(Zhen)空(Kong)计(Ji)的(De)分(Fen)类(Lei)：(?)
真(Zhen)空(Kong)计(Ji)可(Ke)分(Fen)为(Wei)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)和(He)相(Xiang)对(Dui)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)两(Liang)大(Da)类(Lei)。(?)凡(Fan)能(Neng)从(Cong)其(Qi)本(Ben)身(Shen)测(Ce)得(De)的(De)物(Wu)理(Li)量(Liang)（(?)如(Ru)液(Ye)柱(Zhu)高(Gao)度(Du)、(?)工(Gong)作(Zuo)液(Ye)、(?)比(Bi)重(Zhong)等(Deng)）(?)直(Zhi)接(Jie)计(Ji)算(Suan)出(Chu)气(Qi)体(Ti)压(Ya)力(Li)的(De)称(Cheng)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)这(Zhe)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du)较(Jiao)高(Gao)，(?)主(Zhu)要(Yao)用(Yong)作(Zuo)基(Ji)准(Zhun)量(Liang)具(Ju)。(?)相(Xiang)对(Dui)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)主(Zhu)要(Yao)利(Li)用(Yong)气(Qi)体(Ti)在(Zai)低(Di)压(Ya)力(Li)下(Xia)的(De)某(Mou)些(Xie)物(Wu)理(Li)特(Te)性(Xing)（(?)如(Ru)热(Re)传(Chuan)导(Dao)、(?)电(Dian)离(Li)、(?)粘(Zhan)滞(Zhi)性(Xing)和(He)应(Ying)变(Bian)等(Deng)）(?)与(Yu)压(Ya)力(Li)的(De)关(Guan)系(Xi)间(Jian)接(Jie)测(Ce)量(Liang)，(?)其(Qi)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du)较(Jiao)低(Di)，(?)而(?)且(Qie)测(Ce)量(Liang)结(Jie)果(Guo)还(Huan)与(Yu)被(Bei)测(Ce)气(Qi)体(Ti)种(Zhong)类(Lei)和(He)成(Cheng)分(Fen)有(You)关(Guan)。(?)
因(Yin)此(Ci)相(Xiang)对(Dui)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)必(Bi)须(Xu)用(Yong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)标(Biao)定(Ding)和(He)校(Xiao)准(Zhun)后(Hou)方(Fang)能(Neng)用(Yong)作(Zuo)真(Zhen)空(Kong)测(Ce)量(Liang)。(?)但(Dan)它(Ta)能(Neng)直(Zhi)接(Jie)读(Du)出(Chu)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)，(?)使(Shi)用(Yong)方(Fang)便(Bian)，(?)在(Zai)实(Shi)际(Ji)应(Ying)用(Yong)中(Zhong)占(Zhan)绝(Jue)大(Da)多(Duo)数(Shu)。(?)真(Zhen)空(Kong)技(Ji)术(Shu)需(Xu)要(Yao)测(Ce)量(Liang)的(De)压(Ya)力(Li)范(Fan)围(Wei)为(Wei)105～(?)10-11帕(Pa)，(?)甚(Shen)至(Zhi)更(Geng)小(Xiao),宽(Kuan)达(Da)16个(Ge)数(Shu)量(Liang)级(Ji)以(Yi)上(Shang),尚(Shang)无(Wu)一(Yi)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)能(Neng)适(Shi)用(Yong)于(Yu)从(Cong)粗(Cu)真(Zhen)空(Kong)（(?)105～(?)102帕(Pa)）(?)、(?)低(Di)真(Zhen)空(Kong)（(?)102～(?)10-1帕(Pa)）(?)、(?)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)（(?)10-1～(?)10-5帕(Pa)）(?)、(?)超(Chao)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)（(?)小(Xiao)于(Yu)10-5帕(Pa)）(?)到(Dao)*真(Zhen)空(Kong)（(?)小(Xiao)于(Yu)10-10帕(Pa)）(?)的(De)全(Quan)范(Fan)围(Wei)测(Ce)量(Liang),因(Yin)而(?)有(You)多(Duo)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)。(?)zui常(Chang)用(Yong)的(De)有(You)U形(Xing)管(Guan)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)、(?)压(Ya)缩(Suo)式(Shi)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)、(?)电(Dian)阻(Zu)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)和(He)冷(Leng)热(Re)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)。(?)U形(Xing)管(Guan)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)用(Yong)以(Yi)测(Ce)量(Liang)粗(Cu)真(Zhen)空(Kong)和(He)低(Di)真(Zhen)空(Kong)的(De)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)（(?)图(Tu)1）(?)。(?)
在(Zai)U字(Zi)形(Xing)的(De)玻(Bo)璃(Li)管(Guan)中(Zhong)充(Chong)以(Yi)工(Gong)作(Zuo)液(Ye)（(?)低(Di)蒸(Zheng)气(Qi)压(Ya)的(De)油(You)、(?)汞(Gong)）(?)。(?)管(Guan)的(De)一(Yi)端(Duan)被(Bei)抽(Chou)成(Cheng)真(Zhen)空(Kong)（(?)或(Huo)直(Zhi)接(Jie)通(Tong)大(Da)气(Qi)）(?)，(?)另(Ling)一(Yi)端(Duan)接(Jie)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)。(?)根(Gen)据(Ju)两(Liang)边(Bian)管(Guan)中(Zhong)的(De)压(Ya)差(Cha)所(Suo)造(Zao)成(Cheng)的(De)液(Ye)柱(Zhu)差(Cha)可(Ke)测(Ce)出(Chu)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)的(De)压(Ya)力(Li)。(?)压(Ya)缩(Suo)式(Shi)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)又(You)称(Cheng)麦(Mai)克(Ke)劳(Lao)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)是(Shi)一(Yi)种(Zhong)测(Ce)量(Liang)低(Di)真(Zhen)空(Kong)和(He)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)的(De)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)。(?)这(Zhe)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)一(Yi)般(Ban)用(Yong)硬(Ying)质(Zhi)玻(Bo)璃(Li)制(Zhi)成(Cheng)（(?)图(Tu)2a）(?)。(?)A是(Shi)一(Yi)根(Gen)与(Yu)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)相(Xiang)连(Lian)接(Jie)的(De)开(Kai)管(Guan)，(?)D、(?)B为(Wei)内(Nei)径(Jing)相(Xiang)同(Tong)的(De)毛(Mao)细(Xi)管(Guan)，(?)V为(Wei)球(Qiu)泡(Pao),其(Qi)体(Ti)积(Ji)远(Yuan)大(Da)于(Yu)毛(Mao)细(Xi)管(Guan)。(?)测(Ce)量(Liang)时(Shi)，(?)通(Tong)过(Guo)活(Huo)塞(Sai)2抽(Chou)真(Zhen)空(Kong)，(?)然(Ran)后(Hou)用(Yong)活(Huo)塞(Sai)1充(Chong)气(Qi),使(Shi)汞(Gong)储(Chu)存(Cun)器(Qi)C中(Zhong)的(De)汞(Gong)上(Shang)升(Sheng)到(Dao)覆(Fu)没(Mei)交(Jiao)叉(Cha)口(Kou)Μ(?)Μ(?)′(?)，(?)则(Ze)D、(?)V和(He)B、(?)A内(Nei)的(De)气(Qi)体(Ti)被(Bei)隔(Ge)成(Cheng)两(Liang)个(Ge)区(Qu)域(Yu)。(?)再(Zai)充(Chong)气(Qi)继(Ji)续(Xu)提(Ti)高(Gao)汞(Gong)液(Ye)面(Mian),D、(?)V内(Nei)的(De)气(Qi)体(Ti)则(Ze)进(Jin)一(Yi)步(Bu)被(Bei)压(Ya)缩(Suo)，(?)压(Ya)力(Li)增(Zeng)高(Gao)。(?)这(Zhe)样(Yang)D、(?)B间(Jian)存(Cun)在(Zai)的(De)压(Ya)差(Cha)可(Ke)由(You)汞(Gong)柱(Zhu)高(Gao)度(Du)差(Cha)来(Lai)表(Biao)示(Shi)（(?)图(Tu)2b）(?)。(?)
玻(Bo)璃(Li)容(Rong)器(Qi)的(De)体(Ti)积(Ji)和(He)毛(Mao)细(Xi)管(Guan)的(De)高(Gao)度(Du)是(Shi)可(Ke)精(Jing)确(Que)测(Ce)出(Chu)的(De)，(?)所(Suo)以(Yi)用(Yong)玻(Bo)意(Yi)耳(?)定(Ding)律(Lu)即(Ji)可(Ke)算(Suan)出(Chu)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)。(?)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du)较(Jiao)高(Gao),在(Zai)10-3帕(Pa)时(Shi)的(De)精(Jing)度(Du)小(Xiao)于(Yu)或(Huo)等(Deng)于(Yu)5％(?)。(?)电(Dian)阻(Zu)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)又(You)称(Cheng)皮(Pi)喇(La)尼(Ni)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)是(Shi)一(Yi)种(Zhong)测(Ce)量(Liang)低(Di)真(Zhen)空(Kong)的(De)相(Xiang)对(Dui)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)主(Zhu)要(Yao)由(You)电(Dian)阻(Zu)式(Shi)规(Gui)管(Guan)和(He)测(Ce)量(Liang)线(Xian)路(Lu)两(Liang)部(Bu)分(Fen)组(Zu)成(Cheng)。(?)电(Dian)阻(Zu)式(Shi)规(Gui)管(Guan)（(?)图(Tu)3）(?)是(Shi)在(Zai)管(Guan)壳(Ke)内(Nei)封(Feng)装(Zhuang)着(Zhuo)一(Yi)条(Tiao)电(Dian)阻(Zu)温(Wen)度(Du)系(Xi)数(Shu)较(Jiao)大(Da)的(De)电(Dian)阻(Zu)丝(Si)，(?)常(Chang)用(Yong)的(De)为(Wei)钨(Wu)或(Huo)铂(Bo)丝(Si)。(?)测(Ce)量(Liang)时(Shi)，(?)规(Gui)管(Guan)与(Yu)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)相(Xiang)接(Jie)，(?)用(Yong)一(Yi)定(Ding)的(De)电(Dian)压(Ya)、(?)电(Dian)流(Liu)加(Jia)热(Re)电(Dian)阻(Zu)丝(Si)，(?)其(Qi)表(Biao)面(Mian)温(Wen)度(Du)可(Ke)用(Yong)电(Dian)阻(Zu)值(Zhi)来(Lai)反(Fan)映(Ying)，(?)且(Qie)与(Yu)周(Zhou)围(Wei)的(De)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)的(De)热(Re)传(Chuan)导(Dao)有(You)关(Guan)，(?)而(?)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)的(De)热(Re)传(Chuan)导(Dao)又(You)与(Yu)压(Ya)力(Li)有(You)关(Guan)。(?)当(Dang)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)降(Jiang)低(Di)时(Shi)，(?)由(You)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)传(Chuan)走(Zou)的(De)热(Re)量(Liang)减(Jian)小(Xiao)，(?)电(Dian)阻(Zu)丝(Si)表(Biao)面(Mian)温(Wen)度(Du)就(Jiu)增(Zeng)高(Gao)，(?)电(Dian)阻(Zu)值(Zhi)增(Zeng)大(Da)；(?)反(Fan)之(Zhi)，(?)电(Dian)阻(Zu)值(Zhi)减(Jian)小(Xiao)。(?)因(Yin)此(Ci)根(Gen)据(Ju)电(Dian)阻(Zu)值(Zhi)的(De)大(Da)小(Xiao)就(Jiu)可(Ke)测(Ce)量(Liang)出(Chu)压(Ya)力(Li)。(?)热(Re)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)通(Tong)称(Cheng)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)，(?)主(Zhu)要(Yao)用(Yong)于(Yu)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)测(Ce)量(Liang)。(?)
它(Ta)是(Shi)由(You)圆(Yuan)筒(Tong)式(Shi)热(Re)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)规(Gui)管(Guan)（(?)图(Tu)4）(?)和(He)测(Ce)量(Liang)线(Xian)路(Lu)两(Liang)部(Bu)分(Fen)组(Zu)成(Cheng)。(?)这(Zhe)种(Zhong)规(Gui)管(Guan)与(Yu)三(San)极(Ji)电(Dian)子(Zi)管(Guan)相(Xiang)似(Si)，(?)有(You)3个(Ge)电(Dian)极(Ji)：(?)阴(Yin)极(Ji)（(?)灯(Deng)丝(Si)）(?)、(?)螺(Luo)旋(Xuan)形(Xing)栅(Zha)极(Ji)（(?)加(Jia)速(Su)极(Ji)）(?)和(He)圆(Yuan)筒(Tong)形(Xing)收(Shou)集(Ji)极(Ji)。(?)测(Ce)量(Liang)时(Shi)，(?)规(Gui)管(Guan)与(Yu)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)相(Xiang)连(Lian)。(?)通(Tong)电(Dian)后(Hou)，(?)热(Re)阴(Yin)极(Ji)发(Fa)射(She)电(Dian)子(Zi)，(?)在(Zai)飞(Fei)向(Xiang)带(Dai)正(Zheng)电(Dian)位(Wei)的(De)加(Jia)速(Su)极(Ji)的(De)路(Lu)程(Cheng)中(Zhong)与(Yu)管(Guan)内(Nei)空(Kong)间(Jian)的(De)低(Di)压(Ya)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)碰(Peng)撞(Zhuang),使(Shi)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)电(Dian)离(Li)。(?)电(Dian)离(Li)所(Suo)产(Chan)生(Sheng)的(De)电(Dian)子(Zi)和(He)离(Li)子(Zi),分(Fen)别(Bie)在(Zai)加(Jia)速(Su)极(Ji)和(He)收(Shou)集(Ji)极(Ji)（(?)带(Dai)负(Fu)电(Dian)位(Wei)）(?)上(Shang)形(Xing)成(Cheng)电(Dian)子(Zi)流(Liu)Ie和(He)离(Li)子(Zi)流(Liu)Ii。(?)在(Zai)被(Bei)测(Ce)气(Qi)体(Ti)压(Ya)力(Li)低(Di)于(Yu)10-1帕(Pa)的(De)状(Zhuang)况(Kuang)下(Xia),当(Dang)电(Dian)子(Zi)流(Liu)Ie恒(Heng)定(Ding)时(Shi)，(?)离(Li)子(Zi)流(Liu)Ii与(Yu)被(Bei)测(Ce)真(Zhen)空(Kong)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)的(De)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)密(Mi)度(Du)（(?)亦(Yi)即(Ji)压(Ya)力(Li)p）(?)成(Cheng)正(Zheng)比(Bi)。(?)因(Yin)此(Ci),离(Li)子(Zi)流(Liu)的(De)大(Da)小(Xiao)就(Jiu)可(Ke)作(Zuo)为(Wei)压(Ya)力(Li)的(De)度(Du)量(Liang)。(?)
这(Zhe)种(Zhong)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)的(De)测(Ce)量(Liang)范(Fan)围(Wei)为(Wei)10-1～(?)10-5帕(Pa)。(?)此(Ci)外(Wai),还(Huan)有(You)测(Ce)量(Liang)上(Shang)限(Xian)能(Neng)达(Da)102帕(Pa)以(Yi)上(Shang)的(De)高(Gao)压(Ya)力(Li)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)。(?)这(Zhe)种(Zhong)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)在(Zai)工(Gong)作(Zuo)时(Shi)，(?)阴(Yin)极(Ji)发(Fa)射(She)的(De)电(Dian)子(Zi)撞(Zhuang)击(Ji)加(Jia)速(Su)极(Ji)时(Shi)产(Chan)生(Sheng)软(Ruan)性(Xing)X射(She)线(Xian)，(?)照(Zhao)射(She)到(Dao)收(Shou)集(Ji)极(Ji)上(Shang)时(Shi)便(Bian)引(Yin)起(Qi)收(Shou)集(Ji)极(Ji)的(De)光(Guang)电(Dian)子(Zi)发(Fa)射(She)，(?)因(Yin)而(?)就(Jiu)在(Zai)离(Li)子(Zi)流(Liu)测(Ce)量(Liang)回(Hui)路(Lu)中(Zhong)增(Zeng)加(Jia)一(Yi)个(Ge)与(Yu)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)无(Wu)关(Guan)的(De)剩(Sheng)余(Yu)光(Guang)电(Dian)流(Liu)IX,限(Xian)制(Zhi)测(Ce)量(Liang)下(Xia)限(Xian)的(De)扩(Kuo)展(Zhan)。(?)
为(Wei)了(Liao)减(Jian)少(Shao)这(Zhe)种(Zhong)软(Ruan)X射(She)线(Xian)对(Dui)收(Shou)集(Ji)极(Ji)的(De)影(Ying)响(Xiang)，(?)人(Ren)们(Men)又(You)研(Yan)制(Zhi)出(Chu)BA式(Shi)电(Dian)离(Li)规(Gui)管(Guan)（(?)图(Tu)5）(?)。(?)它(Ta)是(Shi)将(Jiang)收(Shou)集(Ji)极(Ji)改(Gai)为(Wei)针(Zhen)形(Xing)，(?)并(Bing)与(Yu)阴(Yin)极(Ji)的(De)位(Wei)置(Zhi)对(Dui)换(Huan)，(?)这(Zhe)样(Yang)使(Shi)光(Guang)电(Dian)流(Liu)IX大(Da)为(Wei)减(Jian)少(Shao)，(?)使(Shi)压(Ya)力(Li)测(Ce)量(Liang)下(Xia)限(Xian)从(Cong)10-5帕(Pa)扩(Kuo)展(Zhan)到(Dao)10-8帕(Pa)左(Zuo)右(You)，(?)从(Cong)而(?)解(Jie)决(Jue)了(Liao)超(Chao)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)测(Ce)量(Liang)的(De)问(Wen)题(Ti)。(?)冷(Leng)阴(Yin)极(Ji)电(Dian)离(Li)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)一(Yi)种(Zhong)测(Ce)量(Liang)高(Gao)真(Zhen)空(Kong)的(De)相(Xiang)对(Dui)真(Zhen)空(Kong)计(Ji)。(?)
它(Ta)由(You)电(Dian)离(Li)规(Gui)管(Guan)和(He)测(Ce)量(Liang)线(Xian)路(Lu)两(Liang)部(Bu)分(Fen)组(Zu)成(Cheng)（(?)图(Tu)6）(?)。(?)规(Gui)管(Guan)一(Yi)般(Ban)由(You)两(Liang)块(Kuai)平(Ping)行(Xing)的(De)阴(Yin)极(Ji)、(?)一(Yi)个(Ge)环(Huan)形(Xing)的(De)阳(Yang)极(Ji)和(He)产(Chan)生(Sheng)磁(Ci)场(Chang)的(De)磁(Ci)钢(Gang)构(Gou)成(Cheng)。(?)在(Zai)电(Dian)极(Ji)之(Zhi)间(Jian)加(Jia)有(You)高(Gao)压(Ya)直(Zhi)流(Liu)电(Dian)场(Chang)，(?)而(?)整(Zheng)个(Ge)规(Gui)管(Guan)的(De)电(Dian)极(Ji)系(Xi)统(Tong)又(You)置(Zhi)于(Yu)垂(Chui)直(Zhi)电(Dian)极(Ji)平(Ping)面(Mian)的(De)磁(Ci)场(Chang)中(Zhong)。(?)在(Zai)正(Zheng)交(Jiao)电(Dian)场(Chang)和(He)磁(Ci)场(Chang)的(De)作(Zuo)用(Yong)下(Xia)，(?)由(You)低(Di)压(Ya)气(Qi)体(Ti)分(Fen)子(Zi)电(Dian)离(Li)产(Chan)生(Sheng)的(De)放(Fang)电(Dian)电(Dian)流(Liu)是(Shi)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)的(De)函(Han)数(Shu)，(?)所(Suo)以(Yi)放(Fang)电(Dian)电(Dian)流(Liu)的(De)大(Da)小(Xiao)可(Ke)作(Zuo)为(Wei)压(Ya)力(Li)的(De)度(Du)量(Liang)。(?)